近期光刻技術(shù)和蝕刻(kè)機一(yī)直全是當今較熱的話題討(tǎo)論,可以說(shuō)光刻技(jì)術是芯片製造的魂,蝕刻機(jī)是芯片製造的魄,要(yào)想生產製造的處理芯片,這(zhè)兩個物品都務必。
這倆設備簡(jiǎn)易的表述便是光刻技術把原理圖投射到遮蓋有(yǒu)光刻(kè)技術的單晶矽片上(shàng)邊(biān),蝕刻機再(zài)把剛剛畫了原理圖的單晶(jīng)矽片上的不必要原理圖浸(jìn)蝕掉,那樣看上去好像沒有什麽難的,可是有一個(gè)品牌形象的形容,每一塊處理芯片上(shàng)邊的電源電路構造變大成千上(shàng)萬倍看來比全部北京市都繁雜,這就是這光刻技(jì)術和蝕刻的難度係數。
光(guāng)刻技術的全過程就是目前製做(zuò)好的矽圓表層塗上一層(céng)光刻技術(shù)(一種能夠被光浸蝕的膠狀物化學物質),接下去(qù)根據(jù)光源(加工工藝難度係(xì)數(shù)紫外線<深紫外線<極紫外線)通過掩膜照射矽圓表層(相(xiàng)近投射),由於光刻技術的遮蓋,照射的一(yī)部分被浸蝕(shí)掉,沒有(yǒu)陽光照射(shè)的一部分被留下,這(zhè)些就(jiù)是必須的(de)電源電路構造。
蝕刻分成二種,一種是幹刻,一種是濕刻(現階(jiē)段流行),說白了,濕刻便是全過程中有冰添加,將上邊曆經光刻技術的圓晶與特殊的化學溶液(yè)反映,除掉不用的一部分,剩餘的就(jiù)是電源電路構造了(le),幹刻現階段都還沒完成商業服務批(pī)量生產,蝕刻機基本原理是根據(jù)等離子技術替代化學(xué)溶液,除去不用的矽圓(yuán)一部分。