乍一看光刻技術和蝕刻機很接近,可是光刻技術和蝕刻機(jī)卻不混為一談,由於刻蝕僅(jǐn)僅製造芯片其中之一的步驟而已。而刻蝕機隻不過是眾(zhòng)多芯片製造設(shè)備其中之一。下邊在這裏給大家聊一下蝕刻機。
蝕刻機和光刻技術其實也就是截然(rán)不同(tóng)的二種(zhǒng)機器設備(bèi),不論從作用或是在結構上而言(yán)都是(shì)天壤之別,光刻技術是芯片製造過程裏為中心的機器設備,芯片製造是通過光刻技術(shù)所決定的,而非蝕刻機。
從原理來看(kàn)光刻技術和蝕刻機。
如果將製造芯片比作(zuò)建房子,那(nà)樣光刻技術的作用是把房子的結(jié)構標明在地板上。蝕刻機便是在光刻技(jì)術進行之後才登場的機器設備,都是光刻技(jì)術進行(háng)之後尤為重要的機器設備之一。蝕刻機主要的的作用是依照(zhào)光刻技(jì)術早已標明好的線去做基礎(chǔ)建設,把沒有用的地區給清(qīng)理掉(diào),隻留光刻(kè)技術環節中標明好一點的路線。
從在結構上看來光刻(kè)技術和蝕刻機。
光刻技術的重要的關鍵技術便是燈源和激光光路,其(qí)燈源(yuán)和激光光路的重要構成(chéng)部分(fèn)有四個,燈(dēng)源、曝出、檢驗、和其它高精密機械製造(zào)構成。對比下,蝕刻(kè)機的構造構成就需要簡單(dān)一些,通常是等離子頻射源、反映室和真(zhēn)氣體路等構成。